双(三甲基硅基)硫醚可由Li2S和TMS氯化物一步制备得到，具体步骤：向无水Li2S（9.19 g，0.20 mol）在无水THF（40 ml）中的磁力搅拌悬浮液中加入TMS氯化物（50.8 mL，0.40 mol）。 将混合物在干燥氩气下搅拌25小时，此时对上清液的等分试样的GC分析显示双(三甲基硅基)硫醚（87％），硅氧烷（4.1％）和未反应的TMS氯化物（9.2％）。 反应烧瓶上装有小型带真空夹套的Vigreaux柱，并在氩气下蒸馏除去THF。 然后降低压力，经过一小段先馏后，收集到双(三甲基硅基)硫醚，为澄清无色液体（29.7 g，83％）。