三甲基膦酰基乙酸酯为透明无色至淡黄色液体，可用作医药中间体。磷酸乙酸三甲酯可于分子内Mannich型反应，生成sarainA型二氮杂三环核；用于有机金属催化的氧杂 Michael反应；用于羟吲哚的异戊烯反应以及香叶基反应；用于分子内Horner-Wadsworth- Emmons反应；用于烯烃交叉易位/杂环化反应。IHT-FCTMPA为一类重要的Wittig-horner试剂，也是用于制造维生素类化合物、药物、昆虫信息素等天然化合物的重要中间体。