硅酸乙酯又名硅酸四乙酯、四乙氧基硅烷。无色透明液体，有特殊臭味。无水存在下稳定，遇水分解成乙醇与硅酸，在潮湿空气中变浑浊，溶于醇、醚等有机溶剂。有毒，对人眼和呼吸道有强烈刺激性。由四氯化硅和无水乙醇作用后经蒸馏而制得。用于制耐热和耐化学腐蚀涂料和制备有机硅溶剂，也可用于有机合成，制备高级水晶的基本原料，光学玻璃处理剂、结合剂、电子工业的绝缘材料等。

硅酸乙酯本身没有结合能力，若用硅酸乙酯作耐火材料的结合剂，必须经过水解处理方可使用。硅酸乙酯的水解反应在仅有水的条件下进行得很缓慢，一旦受酸(H+)或碱(OH-)的催化作用，其水解速度大大加快。一般使用盐酸作催化剂，因为用碱作催化剂会使水解溶液很快发生凝胶作用而使水解溶胶失去稳定性，从而失去结合能力，硅酸乙酯在酸催化作用下的水解反应如下：

水解反应实质上就是硅酸乙酯中的乙氧基(C2H5O-)被水中的羟基(-OH)取代，其结果是由硅酸乙基酯(Si4-OC2H5)转变成硅醇基(Si4-OH)。硅醇基具有高度的活性，能继续与其它硅酸乙基或硅醇基发生酸交换或醚化反应。
但水解反应程度须进行一定的控制，以制成稳定的硅酸乙酯水解液。否则，连续的反应结果会形成体型聚有机硅而失去稳定性，变成为不溶的凝胶体，从而失去作业性。硅酸乙酯水解液的稳定性主要是靠加入的酸或碱来调整。pH值在1.5～2.5之间出现凝胶时间较长，水解液最稳定，低于或高于此范围，水解液易出现凝胶，pH值在5～6之间易出现凝胶，水解液最不稳定。因此，一般水解液应控制在2.0～2.5之间，以保持其稳定性，以便与耐火材料混合后保持一定的作业时间(施工或成型时间)。硅酸乙酯水解液可作精密铸造型模耐火材料的结合剂，也可作粘土质、高铝质、刚玉质、含锆英石质、莫来石质、碳化硅等制品和浇注料的结合剂。

硅酸乙酯(TEOS)是一种无色液体，主要用作防热涂料、耐化学作用的涂料、硅烷偶联剂、有机合成中间体以及半导体领域中化学气相沉积(CVD)SiO2薄膜的前驱体等。硅酸乙酯的熔点为-77℃，沸点165.5℃，微溶于水，溶于乙醇和乙醚。无色易燃液体，有刺激性气味。 不溶于水，溶于乙醇，微溶于苯。电子工业用作绝缘材料，也用作光学玻璃处理及凝结剂用于精密铸造，作为砂型的粘结剂；用硅酸乙酯蒸气处理的金属表面可防腐防水。硅酸乙酯可用来对金属表面渗硅，处理光学玻璃可提高透光度；完全水解后产生的极细氧化硅粉可用于制造荧光粉。硅酸乙酯是有机硅油的原料。硅酸乙酯还可用于制造耐热、耐化学品的涂料。在日本，90%的硅酸乙酯用作防腐蚀涂料（富锌漆）的基料。主要用于耐化学品涂料和耐热涂料，有机硅溶剂及精密造粘结剂。完全水解后产生极细的氧化硅粉，用于制造荧光粉，也可用做化学试剂。四乙氧基硅烷主要用于光学玻璃、耐化学品涂料及耐热涂料和粘合剂；防腐涂料的改性；交联剂、粘结剂、脱水剂；催化剂骨架、高纯超细二氧化硅的制造正硅酸乙酯主要用于光学玻璃、耐化学品涂料及耐热涂料和粘合剂；防腐涂料的改性；交联剂、粘结剂、脱水剂；催化剂骨架、高纯超细二氧化硅的制造。电子工业用绝缘材料，涂料，光学玻璃处理剂，凝结剂，有机合成，制备有机硅的溶剂在形成 H+-magadiite 的嵌入化合物中，将与十二胺反应，用于研究混合金属生物活性玻璃。常用作制备干凝胶时的前体由四氯化硅与乙醇在常温常压下进行酯化而得。易燃液体中毒口服-大鼠 LD50: 6270 毫克/公斤; 吸入-大鼠 LCL0: 85 克/ 立方米皮肤-兔子 500 毫克/24小时 中度; 眼睛-兔子 500 毫克/24小时 轻度与空气混合可爆易燃; 火场排放有毒硅氧化物烟雾库房通风低温干燥; 与氧化剂分开储运泡沫、干粉、二氧化碳、砂土TWA 85 毫克/ 立方米; STEL 170 毫克/ 立方米