在潮湿空气中产生有毒和腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、黏膜呈剧烈刺激作用，吸入可引起呼吸道炎症，肺水肿。应使吸入气体的患者脱离污染区，安置休息并保暖，严重者须就医诊治。不慎溅人眼睛要用大量水冲洗15min，并就医诊治。皮肤如污染用大量水冲洗，如灼伤须就医诊治。无色有刺激性难闻恶臭的气体。在潮湿空气中剧烈发烟。相对密度5.527 g/L(气体)。熔点一93.8℃。沸点 84.6℃。临界温度144.5℃；临界压力3.39 Mpa。熔化热12.1 kJ/mol；汽化热17.2 kJ/mol。遇水则水解。遇碱分解。与胺、乙醚、硝酸盐、亚砜以及有机碱生成络合物。用作聚合反应催化剂。电子工业。将三氟化磷加入反应器中，再通入氟气进行反应，生成五氟化磷气体，经冷却捕集器，制得五氟化磷成品。其
PF3+F2→PF5压缩气体和液化气体遇水分解有毒氟化氢气体库房通风低温干燥; 与碱、含水物品分开存放水TLV-TWA 2.5 毫克(氟)/立方米; STEL 5 毫克(氟)/立方米