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三苯基氯化硫鎓盐
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CAS号：4270-70-6 | 英文名称：Triphenylsulfonium chloride
分子式 C18H15ClS
分子量 299
EINECS号 224-259-6
MDL MFCD00031716
Smiles
InChIKey
乙二醇化学百科
基本信息
中文名称 三苯基氯化硫盐
英文名称 Triphenylsulfonium chloride
CAS号 4270-70-6
分子式 C18H15ClS
分子量 298.83
EINECS号 224-259-6
InChI InChI=1S/C18H15S.ClH/c1-4-10-16(11-5-1)19(17-12-6-2-7-13-17)18-14-8-3-9-15-18;/h1-15H;1H/q+1;/p-1
SMILES [S+](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)C1C=CC=CC=1.[Cl-]
物化性质
熔点 277 °C
形态 粉末
颜色 淡黄色
水溶解性 Soluble in water.
安全信息
危险品标志 Xi
危险类别码 36/37/38
安全说明 26
WGK Germany 3
海关编码 2930909899
生产及用途
应用

三苯基氯化硫盐作为一种新型光致产酸剂，在集成电路、半导体工业中248nm及以下深紫外光致抗蚀剂中得到广泛应用。

上下游产品
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