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CAS号:37348-16-6
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英文名称:hydrobromic acid
分子式
BrH
分子量
81
EINECS号
205-071-3
MDL
MFCD00011323
Smiles
InChIKey
乙二醇化学百科
基本信息
物化性质
安全信息
生产及用途
溴化氢是一种无机化合物,化学式为HBr,无色有刺激性臭味气体。有毒,易溶于水,水溶液称为氢溴酸。易被液化。氢溴酸是强酸,暴露在空气中或在光的作用下,颜色逐渐变深。它具有强还原性,能被空气中的氧及其他氧化剂氧化为溴,露于空气及日光中因溴游离,色渐变暗。溴化氢还具有强酸性,除铂、金和钽等金属外,对其他金属皆能腐蚀,生成金属溴化物。 ![]() HBr + H2O —→ H3O+ + Br- HBr(aq) + Fe —→ FeBr2 + H2↑ Mg3N2(s) + 6HBr(g) —→ 3MgBr2 + 2NH3 溴化氢有还原性: HBr + HBrO —△→ H2O + Br2↑ 5HBr + HBrO3 —△→ 3H2O + 3Br2↑(1) 由氢(H2)和溴(Br2)直接化合。 (2) 由溴化钠(NaBr)与稀硫酸(H2SO4)作用。 (3) 由三溴化磷(PBr3)水解制得:PBr3 + 3H2O → H3PO3 + 3HBr溴化氢在化工工业中有广泛的应用,主要用于有机合成反应中作为催化剂和试剂。在半导体工艺中,电子级溴化氢被用作清洁剂、蚀刻剂、掺杂剂和氢原子源,以实现半导体器件的制备和加工。其高纯度和稳定性对半导体器件的性能和可靠性具有重要影响。 电子级溴化氢是一种用于半导体制造的高纯度溴化氢,具有以下性质和特点: 1、高纯度:电子级溴化氢的纯度要求极高,通常需要去除金属离子、挥发性有机物和微粒等杂质,以确保不会对半导体工艺产生负面影响。 2、低金属离子含量:金属离子对半导体工艺有害,因此电子级溴化氢需要保持极低的金属离子含量,通常在ppb(十亿分之一)或更低的水平。 3、低挥发性有机物含量:挥发性有机物可能污染半导体材料表面,因此电子级溴化氢要求其含量极低,通常在ppb或更低的水平。 4、严格的微粒控制:微粒可能导致半导体器件的缺陷,因此电子级溴化氢需要经过严格的过滤和处理,以确保微粒的数量控制在极低水平。 5、稳定性和可靠性:电子级溴化氢需要保持稳定的化学性质,并且在长期存储和使用过程中不会产生变化,以确保半导体工艺的可靠性和重复性。 二、在半导体工艺中,电子级溴化氢主要用于以下方面: 1、表面清洁:溴化氢可以用于清洗半导体表面,去除氧化物和有机残留物,以准备进行下一步的工艺步骤。 2、蚀刻:溴化氢可用作半导体材料的蚀刻剂,在特定条件下对材料进行选择性蚀刻,用于图案形成和器件制备。 3、掺杂:溴化氢可用于半导体材料的掺杂过程,通过溴化氢对材料的掺杂,可以改变材料的电学性质,例如调节半导体的导电性。 4、氢原子源:溴化氢可以作为氢原子的来源,在半导体工艺中用于氢原子注入,以改变材料的化学性质或修复材料的缺陷。
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