| 中文名称 | 一氟三乙氧基硅烷 |
| 英文名称 | TRIETHOXYFLUOROSILANE |
| CAS号 | 358-60-1 |
| 分子式 | C6H15FO3Si |
| 分子量 | 182.27 |
| EINECS号 | 671-367-8 |
| 熔点 | 134-135 °C |
| 沸点 | 134 °C |
| 密度 | 0,9 g/cm3 |
| 折射率 | 1.36 |
| 闪点 | >30°C |
| 形态 | 透明液体 |
| 颜色 | 无色至浅橙色至黄色 |
| 比重 | 0.94 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| BRN | 1700825 |
| 危险品标志 | C |
| 危险类别码 | 34 |
| 安全说明 | 26-36/37/39-45 |
| 危险品运输编号 | 3265 |
| Hazard Note | Corrosive |
| TSCA | No |
| 海关编码 | 29319090 |
| 危险等级 | 3 |
| 包装类别 | II |