三氟甲磺酸三甲基硅酯可用于实验室研发过程和化工医药研发过程中，主要作为医药中间体,阳离子引发剂,在有机合成中用作催化剂和硅基化试剂。

图1 三氟甲磺酸三甲基硅酯的合成路线

将一个干燥的烧瓶进行氮气置换，使得反应瓶中充满氮气。然后往其中加入三氟甲磺酸（1.5克，10毫摩尔），将反应混合物冷却至零度，再将四甲基硅烷（1.1克，12.5毫摩尔）在氮气环境下加入其中。将所得的反应混合物在室温下搅拌反应1小时，反应结束后将反应粗体系直接进行蒸馏提纯即可得到目标产物分子三氟甲磺酸三甲基硅酯

用于制备强路易斯酸(特别是在乙腈溶剂中时)二氟硼三氟甲磺酸酯-乙醚络合物；酯-酰亚胺和二酯的类Dieckmann环化试剂；高效硅烷化试剂和强路易斯酸催化剂；阳离子引发剂，在有机合成中用作催化剂和硅基化试剂常用于酯-酰亚胺和二酯的类 Dieckmann 环化试剂,也可用于制备强路易斯酸（特别是在乙腈溶剂中时）二氟硼三氟甲磺酸酯-乙醚络合物。