三(二甲氨基)硅烷 tris(dimethylamino)silane CAS#:15112-89-7

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三(二甲氨基)硅烷

产品纠错

CAS号：15112-89-7 | 英文名称：tris(dimethylamino)silane

分子式 C₆H₁₉N₃Si

分子量 161

EINECS号 239-165-0

MDL MFCD00048006

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乙二醇化学百科

基本信息

物化性质

熔点	<0°C
沸点	145 °C
密度	0,838 g/cm3
折射率	1.4247
闪点	25°C
形态	液体
酸度系数(pKa)	10.93±0.70(Predicted)
颜色	无色至淡黄色
比重	0.84
水解敏感性	8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
敏感性	air sensitive, moisture sensitive

安全信息

危险品标志	F,C
危险类别码	10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
安全说明	16-26-36/37/39-45-43
危险品运输编号	1993
WGK Germany	3
RTECS号	VV5800000
TSCA	Yes
毒性	rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.

生产及用途

相关的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。

一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三（二甲胺基）硅烷。

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