二氟代氙 XENON DIFLUORIDE CAS#:13709-36-9

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二氟代氙

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CAS号：13709-36-9 | 英文名称：XENON DIFLUORIDE

分子式 F₂Xe

分子量 169

EINECS号 237-251-2

MDL MFCD00040538

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乙二醇化学百科

基本信息

中文名称	二氟代氙
英文名称	XENON DIFLUORIDE
CAS号	13709-36-9
分子式	F2Xe
分子量	169.29
EINECS号	237-251-2

物化性质

熔点	129 °C (lit.)
沸点	114.35°C (estimate)
密度	4.32 g/mL at 25 °C (lit.)
蒸气压	3.8 mm Hg ( 25 °C)
闪点	None
溶解度	可溶于乙腈（少许）、DMSO（少许）
形态	晶体
颜色	白色
比重	4.320
水溶解性	Decomposes in water.
敏感性	Moisture Sensitive
Merck	14,10072
暴露限值	ACGIH: TWA 2.5 mg/m3NIOSH: IDLH 250 mg/m3; TWA 2.5 mg/m3
稳定性	稳定的。与空气、湿气不相容。分解时释放氟。与可燃材料接触可能会引起火灾。（有时会在这种材料中发现痕量的四氟化氙。当暴露在潮湿环境中时，四氟化物可能会形成爆炸性的三氧化氙。）

安全信息

危险品标志	O,T+,T
危险类别码	8-25-26-34
安全说明	17-26-28-36/37/39-45
危险品运输编号	UN 3087 5.1/PG 2
WGK Germany	3
RTECS号	ZE1294166
F	1-10
Hazard Note	Oxidising Agent
TSCA	T
海关编码	28129019
危险等级	5.1
包装类别	II

生产及用途

理化性质

二氟化氙（XeF2），又称二氟代氙，分子量为169.30，是一种无色固体，在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解，在酸性溶液中较为稳定，水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的，具有令人发呕的恶臭。在电子工业中，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，由于XeF2和硅的化学反应是自发反应，XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性，在XeF2对硅进行腐蚀过程中，XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面，并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4，从而实现对硅的腐蚀。

用途

非常有效的氟化剂。

上下游产品

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