本品为无色透明液体，b.p.156.6℃，n²⁰_D 1.4130，相对密度0.963(20℃)，易溶于乙醇、丙酮、乙醚、苯等有机溶剂中，不溶于水，在水中易水解，在酸性介质中水解加快。亚磷酸三乙酯在农药上可合成杀虫剂毒虫畏、杀螟畏，在医药上用于生产镇痛药苯噻啶，也可用作增塑剂、稳定剂、润滑油和润滑脂的添加剂。用作医药、农药的中间体。用来生产镇痛药苯噻啶、农药杀螟威等；也用作增塑剂、稳定剂、润滑油和润滑脂的添加剂。以无水乙醇、三氯化磷和液氨为原料在二甲苯溶剂中进行酯化反应，生成亚磷酸三乙酯，粗酯经水洗去除氯化铵及亚磷酸二乙酯，蒸馏脱溶剂后，再经精馏得成品。原料消耗定额：三氯化磷（95%）950kg/t、无水乙醇930kg/t、液氨340kg/t。其制备方法是由无水乙醇、三氯化磷和氨反应制得。3C₂H₅OH+PCl₃+NH₃[溶剂]→(C₂H₅O)₃P+3NH₄Cl
将无水乙醇、甲基红指示剂和溶剂加入三口瓶中，将三氯化磷和溶剂在滴液漏斗中搅匀。在强烈搅拌下于0℃左右慢慢通入氨气，同时滴加三氯化磷，调节二者的速度，使反应液呈红色，逐渐加大二者的滴加速度，保持反应温度在0～10℃，约2h，三氯化磷滴加完毕，继续通氨气数分钟，使反应物呈碱性。加水溶解副产物氯化铵及亚磷酸二乙酯，用分液漏斗分出水层。油层经减压分馏回收溶剂，再真空分馏，即得到亚磷酸三乙酯。
此法工艺简单，原料易得，成本也较低。溶剂以石油醚较好，也可用二甲苯、甲苯、三氯乙等。易燃液体中毒口服-大鼠 LD50: 1840 毫克/公斤; 口服-小鼠 LD50: 2500 毫克/公斤皮肤-兔子 500 毫克 轻度; 眼睛-兔子 100 毫克 中度易燃; 受热放出有毒氧化磷烟雾库房通风低温干燥雾状水, 二氧化碳, 砂土, 泡沫