| 中文名称 | 六甲基环三硅氮烷 |
| 英文名称 | 2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane |
| CAS号 | 1009-93-4 |
| 分子式 | C6H21N3Si3 |
| 分子量 | 219.51 |
| EINECS号 | 213-773-6 |
| 熔点 | −10 °C(lit.) |
| 沸点 | 188 °C756 mm Hg(lit.) |
| 密度 | 0.92 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气压 | 35Pa at 25℃ |
| 折射率 | n20/D 1.445(lit.) |
| 闪点 | 139 °F |
| 形态 | 液体 |
| 酸度系数(pKa) | 14.76±0.20(Predicted) |
| 颜色 | 无色 |
| 比重 | 0.922 |
| 水溶解性 | Decomposes in contact with water,Insoluble in water |
| 水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| BRN | 774739 |
| 危险品标志 | Xi |
| 危险类别码 | 36/37/38 |
| 安全说明 | 26-36 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | GZ4720000 |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 29349990 |
| 危险等级 | 3.2 |
| 包装类别 | III |