三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，用作高分子有机硅化合物的原料。
三氯氢硅不仅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，还是制造多晶硅的主要原料。硅烷偶联剂是一种重要的、高科技含量、高附加值的有机硅复合材料，通过硅烷偶联剂可使非交联树脂实现交联固化或改性，因此在玻璃纤维、铸造、轮胎橡胶等行业得到了日益广泛的应用。生产三氯氢硅的主要副产品四氯化硅也是制造有机硅的主要原料，它的制成品有硅酸酯、有机硅油、高温绝缘漆、有机硅树脂、硅橡胶和耐热垫衬材料等。高纯的四氯化硅还是制造高纯二氧化硅、无机硅化合物、石英纤维以及光导纤维的重要原料。
多晶硅产品的主要用途：(1)可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能；(2)高纯的晶体硅是重要的半导体材料；(3)金属陶瓷、宇宙航行的重要材料；(4)光导纤维通信，最新的现代通信手段；(5)性能优异的硅有机化合物。

三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好，在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾(HCl)，还生成Cl2和Si。遇潮气时发烟，与水激烈反应:2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6HCl；在碱液中分解放出氢气：SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2；与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷：SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3；在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，SiHCl3可被还原为硅烷。容器中的液态SiHCl3当容器受到强烈撞击时会着火。可溶解于苯、醚等。无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。吸入三氯氢硅蒸气数分钟后，表现兴奋，呼吸反射障碍，呼吸器官有炎症。溅在皮肤上可引起坏死，溃疡长期不愈。最高容许浓度为1 mg/m³(必须检测HCl)。生产人员要穿着密闭型工作服，戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭，车间通风良好。下班后要洗淋浴，遵守个人卫生。生产工人进行就业前和定期体检。无色液体。 溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。用作高分子有机硅化合物的原料，也用于仪表工业制造有机硅化合物的原料，也是生产多晶硅的基本原料。沸腾氯化法 硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉，与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝，制得三氯氢硅成品。其
Si+3HCl→SiHCl3+H2易燃液体中毒口服-大鼠 LD50:1030毫克/公斤; 吸入-小鼠 LC50:1500毫克/立方米/2小时遇明火、高温、氧化剂易燃; 遇水或高温产生有毒氯化物和氟化物烟雾库房通风低温干燥; 与氧化剂、酸类分开存放干粉、干砂、二氧化碳、泡沫