三甲基硅烷 Trimethylsilane CAS#:993-07-7

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三甲基硅烷

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CAS号：993-07-7 | 英文名称：Trimethylsilane

分子式 C₃H₁₀Si

分子量 74

EINECS号 213-603-0

MDL MFCD00039791

Smiles [SiH](C)(C)C

InChIKey PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N

乙二醇化学百科

基本信息

物化性质

安全信息

生产及用途

三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。

三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体，其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。

三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。

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