三异丙基硅基三氟甲磺酸酯又叫三异丙基三氟甲磺酸硅酯，三异丙基甲硅烷基三氟甲烷磺酸盐，可由三氟甲磺酸与TIPSCl一步酯化得到。三异丙基硅基三氟甲磺酸酯为羧酸酯类衍生物，可用作有机合成中间体。向48.7mLTIPSCl（44.3g，230mmol，1.00eq）中滴加20.0mL（34.0g，230mmol，1.00eq）三氟甲磺酸，并在60℃下搅拌24小时。 然后将所得沉淀物在0.01mbar / 60℃下真空蒸馏，得到标题化合物，为无色液体（69.8g，228mmol）。

三异丙基硅基三氟甲磺酸酯属于磺酸酯类化合物，能和皮肤中的水发生反应，对皮肤有很强的刺激作用，因此使用时应该尽量避免皮肤接触，做好安全防护措施。