二乙基硅烷 DIETHYLSILANE CAS#:542-91-6

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二乙基硅烷

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CAS号：542-91-6 | 英文名称：DIETHYLSILANE

分子式 C₄H₁₂Si

分子量 88

EINECS号 208-834-9

MDL MFCD00039877

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乙二醇化学百科

基本信息

中文名称	二乙基硅烷
英文名称	DIETHYLSILANE
CAS号	542-91-6
分子式	C4H12Si
分子量	88.22
EINECS号	208-834-9

物化性质

熔点	-132°C
沸点	56 °C (lit.)
密度	0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
折射率	n20/D 1.391(lit.)
闪点	−20 °F
溶解度	与四氢呋喃、乙醚、1,4-二恶烷和苯混溶。
形态	液体
比重	0.683
水解敏感性	3: reacts with aqueous base
敏感性	Air Sensitive
Merck	14,3128
BRN	1730902

安全信息

危险品标志	F
危险类别码	11
安全说明	16-23-24/25
危险品运输编号	UN 1993 3/PG 2
WGK Germany	1
TSCA	Yes
危险等级	3
包装类别	II

生产及用途

简介

二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源。一种形成作为电子器件中高k电介质的金属硅酸盐的方法，包括步骤：提供二乙基硅烷至反应区；同时提供氧源至该反应区；同时提供金属前驱体到该反应区；通过化学气相沉积使该二乙基硅烷、氧源和金属前驱体发生反应，以在包括该电子器件的衬底上形成金属硅酸盐。该金属优选为铪、锆或其混合物。该金属硅酸盐膜的介电常数可以基于膜中的金属、硅、和氧的相对原子浓度进行调节。

用途

二乙基硅烷是一种硅烷试剂，有文献报道其可用于制备沉积金属硅酸盐膜的硅源。

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