砷化铝是一种橘黄色晶体，闪锌矿结构，它的晶格常数跟砷化镓类似。砷化铝的晶系为等轴晶系，熔点是943℃，而且它很容易潮解，有毒，在酸中溶解时会产生砷化氢气体。砷化铝常用作光谱分析试剂和制备电子组件的原料，也是一种新型半导体材料。一种高效制备高纯砷化铝的方法，该方法是采用气相沉积法，在氩气保护下分别将三氯化铝和三氯化砷在挥发室中加热挥发成蒸汽，通过喷嘴喷入反应室反应，气相沉积生成砷化铝晶体。具体步骤如下： (1)以氩气为保护气体，将三氯化铝和三氯化砷按摩尔质量比为1：1～1.5：1取料，分别置于第一挥发室1和第二挥发室2中，300～900℃条件下挥发0.5h～12h，使两种物料都处于蒸汽状态； (2)通过喷嘴将两个挥发室中的三氯化铝和三氯化砷蒸汽分别通过第一喷嘴4和第二喷嘴5同时喷入一个钛材制做的反应室3内，在300～900℃条件下反应2h～5h，气相沉积得到沉积物；剩余挥发气体在常温下加压至600～700kPa或在常压下冷却到-34℃得到液氯； (3)将所得沉积物加热挥发2h～12h，加热温度为300～900℃、压强为0.5～100KPa，除去残余的氯，冷却，得到纯度大于99.9％的橘黄色的晶体砷化铝。 所述第一挥发室1和第二挥发室2可采用现有技术的金属加热挥发设备，如侧吹式电炉，在电炉的风眼连接对向反应室的喷嘴。反应室也可以采用电加热炉，气相沉积得到沉积物；剩余挥发气体引出反应室，在常温下加压至600～700kPa或在常压下冷却到-34℃得到液氯。